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KAWASO|川惣電機工業株式会社
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FPD製造工場において、基板温度を正確に測定することは品質管理上、非常に大切なことです。
ガラスモニタ用熱電対はガラス基板TCまたは、TC付ガラスと呼ばれているものと用途は同じですが、弊社では独自の構造で、ガラスに熱電対を埋め込み、固定してガラス温度を測定する方法を開発しました。
このため熱電対をガラスに貼り付けた時にありがちな熱電対がガラスから簡単に外れてしまう問題がありません。使用する熱電対はK、Rより選択可能です。 FPD装置やプロセスの設計、評価など幅広く使用できます。

用途
前工程での拡散、酸化、アニール、CVD、段階プラズマCVD等での使用が可能です。

特長
モニタ用熱電対は、ガラスに特殊な加工を施して取付けております。

ガラスには2箇所または3箇所の貫通孔と熱電対の温接点を固定するためのざぐり穴が加工されており、 このざぐり穴に熱電対の温接点を収め耐熱性の接着剤で固定しております。

この方法により、熱電対は簡単に外れないようになっております。

仕様
●熱電対
(1) TYPE K熱電対(標準)
素線径 :φ0.13またはφ0.2mm
酸化雰囲気や不活性ガス、真空雰囲気で使用が可能です。
(2) TYPE R熱電対(高温仕様)
素線径 :φ0.2またはφ0.1mm
酸化雰囲気や不活性ガス、真空雰囲気で使用が可能です。
●熱電対被膜
炉内側 :シリカ編組被膜または石英管またはポリイミド
炉外側 :テフロン
●コネクタ部
ポリイミドフラットケーブル
●端末処理
熱電対用SMPコネクタ(1点用)
熱電対用D-Subコネクタ(多点用)
圧着端子

ガラス加工参考図


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